
高大余進忠、楠梓高中蘇文健設計實作課程 引導學生探索半導體製程核心技術
國立高雄大學應用物理系副教授余進忠(圖一右)與高市楠梓高中教師蘇文健(圖一左)設計實作課程,引導學生探索奈米級薄膜量測、黃光微影等半導體製程核心技術,5月22日前進駁二藝術特區蓬萊區B6倉庫2025高雄教育節半導體展區,歡迎抽空聆賞。

余進忠說,學校秉持在地共榮共好精神,運用教育部高教深耕計畫挹注經費,2024年受邀楠梓高中校長郝靜宜開設半導體製程探究與實作課程及規劃半導體實驗室,攜手蘇文健共同授課。結合手機APP與磁鐵模擬沉積質量變化「音叉共振實驗」,感測0.02公克細微變化,引導學生了解物理原理及製程關係。

「黃光微影」製程取材光固化溶液,搭配紫外光曝光與祥儀慈善文教基金會贊助科技寶積木式自製旋鋪機,模擬光阻塗佈與固化,透過膜厚量測驗證旋鋪模型,體現108課綱跨域統整與實作精神,銜接高科技應用。

郝靜宜說,感謝余進忠、蘇文健、鄭夙芬及行政團隊建置實驗室及推廣課程,學校112年開辦數理實驗班,培養學生邏輯思維與科學探究能力,也因應人工智慧與半導體產業趨勢轉型人工智慧半導體專班,強化結合大學端,引導學生及早接觸前沿科技。圖/高大提供、文/高培德

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